三维振镜激光蚀刻机

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201320530401.9
IPC分类号：B23K26/046;B23K26/38
申请日期：
2013-08-28
申请人：
武汉拓普银光电技术有限公司

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著录项信息

专利名称	三维振镜激光蚀刻机
申请号	CN201320530401.9	申请日期	2013-08-28
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/046 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K26/00 用激光束加工，例如焊接，切割或打孔〔2，3，2014.01〕 B23K26/02 工件的定位和观测，如相对于冲击点，激光束的对正，瞄准或聚焦〔3，2014.01〕 B23K26/04 激光束的自动对正，瞄准或聚焦，如应用反向散射光〔3，2014.01〕 B23K26/046 激光束的自动聚焦〔2014.01〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;0;4;6;;;B;2;3;K;2;6;/;3;8查看分类表>
申请人	武汉拓普银光电技术有限公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖开发区光谷大道303号光谷芯中心文馨楼205 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	武汉拓普银光电技术有限公司	当前权利人	武汉拓普银光电技术有限公司
发明人	胡兵;应花山
代理机构	武汉开元知识产权代理有限公司	代理人	黄行军

摘要

本实用新型涉及激光切割技术领域，具体涉及一种三维振镜激光蚀刻机。它包括机架、工控机、显示器、激光发生系统、X-Y振镜、动态聚焦振镜、真空吸附平台、CCD定位系统、X轴运动系统、Y轴运动系统和Z轴运动系统，所述动态聚焦振镜安装在Z轴运动系统上位于激光发生系统与X-Y振镜之间，所述动态聚焦振镜与X-Y振镜组合形成三维动态聚焦振镜扫描系统。本实用新型相对于现有蚀刻机，使用了三维动态聚焦激光振镜扫描系统，可以在加工大幅面的同时保证光斑质量，单次加工300×300mm幅面线宽可控制在35μm以内。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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