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存储设备的电容器及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200510076258.0
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2005-05-08
  • 申请人:
    三星电子株式会社
著录项信息
专利名称存储设备的电容器及其制造方法
申请号CN200510076258.0申请日期2005-05-08
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2005-11-09公开/公告号CN1694256
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人三星电子株式会社申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三星电子株式会社当前权利人三星电子株式会社
发明人朴永洙;李正贤;赵重来;具俊谟;金锡必;申尚旻
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人陶凤波;侯宇
摘要
提供了一种存储设备的电容器及其制造方法,用于实现高集成度的半导体存储设备并保持优良的疲劳特性。在具有晶体管结构的存储设备的电容器中,电容器包括形成在晶体管结构的掺杂区上的、包括金属电极和金属氧化物电极的下部电极,围绕下部电极的铁电层,和形成在铁电层上的上部电极。

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