一种晶圆电镀装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022815317.4
IPC分类号：C25D17/00;C25D19/00;C25D7/12;C25D21/00
申请日期：
2020-11-30
申请人：
江苏晶睿光电科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种晶圆电镀装置
申请号	CN202022815317.4	申请日期	2020-11-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C25D17/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C25 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕 C25D 覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸（印刷电路的金属沉积法制造入H05K 3/18）；工件的电解法接合；所用的装置（阳极或阴极保护入 C23F13/00；单晶生长入C30B）〔2，6〕 C25D17/00 电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件〔2〕	IPC分类号	C;2;5;D;1;7;/;0;0;;;C;2;5;D;1;9;/;0;0;;;C;2;5;D;7;/;1;2;;;C;2;5;D;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	江苏晶睿光电科技有限公司	申请人地址	江苏省南通市如皋市长江镇迅驰路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏晶睿光电科技有限公司	当前权利人	江苏晶睿光电科技有限公司
发明人	山世清;黎弈夆
代理机构	北京一格知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	滑春生

摘要

本实用新型涉及一种晶圆电镀装置，包括一电镀支架，在电镀支架上沿着电镀支架的长轴方向分布有数个电镀区域；设置于各个电镀区域内的电镀单元，包括一安装在电镀支架上的电镀池，在电镀池内安装有活动式导电组件；一设置于电镀池内的补液单元，包括两个补液管，对称分布在电镀池的底端，在补液管的上端面还开有若干补液孔，在电镀池的下方还设置有一补液池，在补液池中安装有一供液管，该供液管通过过渡连接管道分别与两个补液管相连。本实用新型的优点在于：将电镀支架划分为多个电镀区域，并配合电镀单元与补液单元的设计，可实现在同一时间内对多个晶圆的同时电镀，也可实现对晶圆表面多种不同材料的依次电镀，工作效率更高，电镀效果更好。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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