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基板保持装置、曝光装置及器件制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201480070325.5
IPC分类号：H01L21/683;G03F7/20;H01L21/027
申请日期：
2014-10-29
申请人：
株式会社尼康

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法律信息

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著录项信息

专利名称	基板保持装置、曝光装置及器件制造方法
申请号	CN201480070325.5	申请日期	2014-10-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-08-03	公开/公告号	CN105830208A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/683 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/683 用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L 21/68）〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;G;0;3;F;7;/;2;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7查看分类表>
申请人	株式会社尼康	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社尼康	当前权利人	株式会社尼康
发明人	柴崎祐一
代理机构	北京市金杜律师事务所	代理人	陈伟

摘要

基板保持装置具有：吸附保持基板(W)的基板保持器(WH)；和多个上下移动销单元(341、342、343)，其在一端具有吸附基板的背面的吸附部，在通过该吸附部吸附着基板(W)的背面的状态下，能够相对于基板保持器(WH)相对移动。多个上下移动销单元(341、342、343)的包含上述吸附部的至少一部分因从上述吸附的基板(W)受到的力的作用而向至少一个方向位移。

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