缺陷检查装置

发明专利无效专利

申请号：
CN02818456.4
IPC分类号：G01N21/956;H01L21/66;H01L21/68
申请日期：
2002-09-24
申请人：
奥林巴斯株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	缺陷检查装置
申请号	CN02818456.4	申请日期	2002-09-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-12-22	公开/公告号	CN1556920
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/956 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕 G01N21/956 检测物品表面上的图案〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8查看分类表>
申请人	奥林巴斯株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	奥林巴斯株式会社	当前权利人	奥林巴斯株式会社
发明人	内木裕;田中利彦
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	黄剑锋

摘要

本发明提供一种缺陷检查装置，包括：移动机构，使试料在检查位置上以一定的速度至少向一个方向直线移动；照明机构，对由该移动机构移动的所述试料的表面和背面进行照明；拍摄机构，在以所述一定的速度移动被该照明机构照明的所述试料的同时，对所述试料的整个的表面和背面进行拍摄；以及检查机构，对由所述拍摄机构取入的所述试料的整个的表面和背面的图像数据进行图像处理，对所述试料的表面和背面的缺陷进行检查。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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