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栅极的制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810840360.0
  • IPC分类号:H01L21/28
  • 申请日期:
    2018-07-27
  • 申请人:
    上海华力集成电路制造有限公司
著录项信息
专利名称栅极的制造方法
申请号CN201810840360.0申请日期2018-07-27
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-12-21公开/公告号CN109065446A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/28IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;2;8查看分类表>
申请人上海华力集成电路制造有限公司申请人地址
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区康桥东路298号1幢1060室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海华力集成电路制造有限公司当前权利人上海华力集成电路制造有限公司
发明人吴永权;钱凯;陆连
代理机构上海浦一知识产权代理有限公司代理人郭四华
摘要
本发明公开了一种栅极的制造方法,包括步骤:步骤一、在半导体衬底表面形成栅介质层和多晶硅栅;步骤二、在多晶硅栅表面中注入终点检测杂质;步骤三、进行光刻刻蚀形成栅极;步骤四、在各栅极侧面形成侧墙;步骤五、形成由氮化层组成的接触孔刻蚀停止层;步骤六、形成由氧化层组成的层间膜;步骤七、采用化学机械研磨工艺进行第一次平坦化并停止在氮化层材料上;步骤八、采用第一次等离子体刻蚀工艺进行第二次平坦化,第一次等离子体刻蚀工艺的刻蚀终点采用检测终点检测杂质实现的终点检测方式确定;步骤九、采用第二次等离子体刻蚀工艺对多晶硅栅进行去除并采用定时方式确定刻蚀终点。本发明能提高多晶硅栅去除的可靠性并进而提高器件的可靠性。

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