微量湿度和有机气体集成光波导芯片传感器及制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201010602836.0
IPC分类号：G01N21/45
申请日期：
2010-12-24
申请人：
云南大学

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著录项信息

专利名称	微量湿度和有机气体集成光波导芯片传感器及制备方法
申请号	CN201010602836.0	申请日期	2010-12-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2011-09-14	公开/公告号	CN102183489A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/45 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/17 入射光根据所测试的材料性质而改变的系统（其中所测试的材料因受到光学激发而引起入射光波长改变的入G01N 21/63）〔3〕 G01N21/41 折射率；影响相位的性质，例如光程长度（G01N 21/21优先）〔3〕 G01N21/45 利用干涉量度法，利用纹影方法〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;4;5查看分类表>
申请人	云南大学	申请人地址	云南省昆明市翠湖北路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	云南大学	当前权利人	云南大学
发明人	任一涛
代理机构	昆明科阳知识产权代理事务所	代理人	孙山明

摘要

微量湿度和有机气体集成光波导芯片传感器及制备方法，属于测量湿度和气体浓度的传感器。本发明传感器由平面光波导A和E按EAEA～EAEAS排序交替覆盖在A上或衬底S上组成，表层E为感应层，A和E折射率分别为1.45、1.465～1.495或进一步为1.465～1.48。制备是用PECVD方法使掺杂SiO2的两个平面光波导E夹在纯SiO2平面光波导A之间构成玻璃薄膜芯片。本发明传感器厚度仅约15μm，灵敏度达ppm量级，体积小、高稳定、准直简便，成本低、工业化生产，可用于环境、医疗及工业领域的实时监测。

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