一种保护型异型石墨坩埚及其使用方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110268810.5
IPC分类号：C30B29/36;C30B28/14
申请日期：
2021-03-12
申请人：
哈尔滨晶彩材料科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种保护型异型石墨坩埚及其使用方法
申请号	CN202110268810.5	申请日期	2021-03-12
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-01	公开/公告号	CN112877778A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/36 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/10 无机化合物或组合物〔3〕 C30B29/36 碳化物〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;3;6;;;C;3;0;B;2;8;/;1;4查看分类表>
申请人	哈尔滨晶彩材料科技有限公司	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市松北区高新技术开发区科技创新城创新创业广场20号楼秀月街178号B区403室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨晶彩材料科技有限公司	当前权利人	哈尔滨晶彩材料科技有限公司
发明人	吴晶
代理机构	哈尔滨市文洋专利代理事务所（普通合伙）	代理人	王艳萍

摘要

一种保护型异型石墨坩埚及其使用方法，它涉及异型石墨坩埚及其使用方法，它是要解决现有的石墨坩埚易磨损及多晶粉料纯度低的技术问题。本发明的石墨坩埚包括上盖、坩埚主体、子坩埚和外螺纹石墨管；坩埚主体内设置呈阶梯状降低的立柱，子坩埚放在立柱的阶梯上，坩埚主体的筒壁中均布气孔，上盖与坩埚主体用外螺纹石墨管相连接。用法：将硅放在壳体底部；将碳粉放在子坩埚中，再将子坩埚放在立柱的阶梯上；将上盖与壳体用外螺纹石墨管旋紧后放在高温炉中；通过外螺纹石墨管向壳体的底部通入气体，升温反应，得到高纯碳化硅多晶粉料。该石墨坩埚磨损率低，使用7N～9N硅颗粒或硅块制备出的碳化硅多晶纯度为6N，可用于碳化硅多晶粉料制备领域。

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