一种增强光催化效应的阵列化活性薄膜的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610679084.5
IPC分类号：B01J21/18
申请日期：
2016-08-17
申请人：
袁沛文

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专利名称	一种增强光催化效应的阵列化活性薄膜的制备方法
申请号	CN201610679084.5	申请日期	2016-08-17
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2017-02-08	公开/公告号	CN106378123A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01J21/18 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01J 化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备〔2〕 B01J21/00 包含镁、硼、铝、碳、硅、钛、锆或铪的元素，其氧化物或氢氧化物的催化剂〔2〕 B01J21/18 碳〔2〕	IPC分类号	B;0;1;J;2;1;/;1;8查看分类表>
申请人	袁沛文	申请人地址	安徽省安庆市太湖县晋熙镇变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	太湖县市场监督检验所(太湖县功能膜检测研究院)	当前权利人	太湖县市场监督检验所(太湖县功能膜检测研究院)
发明人	袁沛文;杨晓辉;姜卫粉;贾敏;张巧丽
代理机构	郑州优盾知识产权代理有限公司	代理人	董晓慧;张志军

摘要

本发明公开了一种增强光催化效应的阵列化活性薄膜的制备方法，将电阻率小于3.0Ω·cm的P型单晶硅片置入高压釜内，然后向高压釜内填充腐蚀液，腐蚀后制得硅柱阵列；将硅柱阵列放入二茂铁的乙醇溶液中浸润，然后置于卧式管式炉内，通过预浸润催化剂原位生长碳纳米管10min，氮气保护下降至室温，得到碳纳米管/硅柱阵列；采用直流反应磁控溅射法在碳纳米管/硅柱阵列上制备出TiO2薄膜。本发明合理利用了衬底的微/纳阵列的模板作用，所制得的二氧化钛薄膜随基底表面微结构的起伏而起伏，结合牢固，同时基底是由阵列化碳纳米管构成，可以使其表面沉积的二氧化钛更大面积地接触到有机溶液，因此催化效率高。

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