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基板清洗设备及方法、在MOS结构中形成栅极绝缘膜的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200880120934.1
  • IPC分类号:H01L21/304
  • 申请日期:
    2008-09-19
  • 申请人:
    佳能安内华股份有限公司
著录项信息
专利名称基板清洗设备及方法、在MOS结构中形成栅极绝缘膜的方法
申请号CN200880120934.1申请日期2008-09-19
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2010-12-15公开/公告号CN101919030A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/304
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IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人佳能安内华股份有限公司申请人地址
日本神奈川县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人佳能安内华股份有限公司当前权利人佳能安内华股份有限公司
发明人清野拓哉;池本学;真下公子
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)代理人刘新宇;张会华
摘要
本发明提供基板清洗设备及方法、在MOS结构中形成栅极绝缘膜的方法,等离子体形成室具有高频施加电极,其具有通孔,比值V2/V1被设定在0.01至0.8的范围,V1是高频施加电极的包括通孔在内的总体积,V2是通孔的总体积;等离子体约束电极板具有自由基导入孔和处理气体导入孔,等离子体约束电极板配置成与基板保持件的基板支撑面相面对且被电接地,自由基导入孔配置成允许等离子体中的中性自由基通过该孔而进入基板清洗处理室中,同时阻止等离子体中的带电粒子通过该孔,处理气体经由处理气体导入孔导入到基板清洗处理室中,从等离子体约束电极板的表面朝向放置于基板保持件的基板的表面导入自由基和处理气体,以对基板进行清洗。

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