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在CMOS技术中形成自对准双重硅化物的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200580041392.5
  • IPC分类号:H01L21/8238;H01L21/3205;H01L21/4763;H01L21/44
  • 申请日期:
    2005-12-01
  • 申请人:
    国际商业机器公司
著录项信息
专利名称在CMOS技术中形成自对准双重硅化物的方法
申请号CN200580041392.5申请日期2005-12-01
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2007-11-07公开/公告号CN101069281
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8;;;H;0;1;L;2;1;/;3;2;0;5;;;H;0;1;L;2;1;/;4;7;6;3;;;H;0;1;L;2;1;/;4;4查看分类表>
申请人国际商业机器公司申请人地址
加拿大安大略省 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人奥瑞加创新股份有限公司当前权利人奥瑞加创新股份有限公司
发明人小希里尔·卡布莱尔;切斯特·T.·齐奥波科夫斯基;约汉·J.·爱丽斯-莫纳甘;方隼飞;克里斯蒂安·拉沃伊;骆志炯;詹姆斯·S.·纳考斯;安·L.·斯廷根;克莱门特·H.·万
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人杜娟
摘要
一种制造互补金属氧化物半导体(CMOS)器件的方法,其中该方法包括如下步骤:在半导体衬底(102)中形成用于容纳第一类型半导体器件(130)的第一阱区(103);在半导体衬底(102)中形成用于容纳第二类型半导体器件(140)的第二阱区(104);用掩模(114)屏蔽第一类型半导体器件(130);在第二类型半导体器件(140)上淀积第一金属层(118);在第二类型半导体器件(140)上形成第一自对准硅化物;去除掩模(114);在第一和第二类型半导体器件(130、140)上淀积第二金属层(123);和在第一类型半导体器件(130)上形成第二自对准硅化物。该方法只需要一个图案层次,并消除了图案重叠,这还简化了在不同器件上形成不同硅化物材料的工艺。

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