三氯硅烷制造装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200780012705.3
IPC分类号：C01B33/107
申请日期：
2007-10-24
申请人：
三菱麻铁里亚尔株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	三氯硅烷制造装置
申请号	CN200780012705.3	申请日期	2007-10-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2009-04-29	公开/公告号	CN101421189
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B33/107 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B33/00 硅；其化合物（C01B 21/00，C01B 23/00优先；过硅酸盐入 C01B 15/14；碳化物入C01B32/956）〔1，3，2006.01〕 C01B33/08 含卤素的化合物 C01B33/107 卤化硅烷〔3〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;3;/;1;0;7查看分类表>
申请人	三菱麻铁里亚尔株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三菱麻铁里亚尔株式会社	当前权利人	三菱麻铁里亚尔株式会社
发明人	石井敏由记;伊藤秀男;清水祐司
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	温大鹏

摘要

一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部的反应流路中被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将反应容器的内部加热；气体供给部，将供给气体供给到反应容器内；气体排气部，将反应生成气体从反应容器排出到外部；反应流路具有：供给侧流路，在反应容器的中央部连接在气体供给部上，使供给气体一边在反应容器内折回一边朝向外侧流动；返回流路，连接在供给侧流路的下游端，到达反应容器的中央部；排出侧流路，连接在返回流路的下游端，相邻于反应容器的中央部的供给侧流路而配设，连接在气体排气部上。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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