一种玻璃晶片脱胶装置及脱胶方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811548120.X
IPC分类号：B08B11/04;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;H01L21/02;H01L21/67;B01D53/28;B01D53/02
申请日期：
2018-12-18
申请人：
苏州市晶协高新电子材料有限公司

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著录项信息

专利名称	一种玻璃晶片脱胶装置及脱胶方法
申请号	CN201811548120.X	申请日期	2018-12-18
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2019-04-05	公开/公告号	CN109570174A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B11/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B11/00 专门适用于清洁柔韧的或精致的物品的方法或装置（B08B 3/12，B08B 6/00优先）〔2〕 B08B11/04 专门用于平板玻璃的，如加工挡风玻璃前用的（清洁永久固定的窗格玻璃之间的间隙入E06B 3/677）	IPC分类号	B;0;8;B;1;1;/;0;4;;;B;0;8;B;3;/;0;8;;;B;0;8;B;3;/;1;0;;;B;0;8;B;3;/;1;2;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;B;0;1;D;5;3;/;2;8;;;B;0;1;D;5;3;/;0;2查看分类表>
申请人	苏州市晶协高新电子材料有限公司	申请人地址	江苏省苏州市高新技术产业开发区浒墅关工业园内变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州市晶协高新电子材料有限公司	当前权利人	苏州市晶协高新电子材料有限公司
发明人	刘鸣;刘利娟;孙宇亮;潘玉慧
代理机构	常州佰业腾飞专利代理事务所（普通合伙）	代理人	黄杭飞

摘要

本发明公开了一种玻璃晶片脱胶装置，包括脱胶槽、脱水组件、浓硫酸罐、双氧水罐和微处理器；所述脱胶槽包括相邻设置的清洗槽和漂洗槽，所述清洗槽内注入有浓盐酸和双氧水，清洗槽内上部设有清洗篮；所述漂洗槽内上部设有漂洗篮；所述浓硫酸罐通过浓硫酸管与清洗槽连通；所述双氧水罐通过双氧水管与清洗槽连通；所述清洗槽上方一侧设有槽盖，另一侧则用于设置脱水组件，所述脱水组件包括电加热板、吸收仓、温度传感器、循环管及干燥包和风机。本发明还提供了使用该装置对玻璃晶片进行脱胶的方法。其可有效去除玻璃晶片上的紫外固化胶，并且该装置可使去胶过程持续进行，不需要经常更换去胶液，提高工作效率，节约资源，保护环境。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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