预对准机与机械手相对坐标系的标定方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201210441423.8
IPC分类号：G01B21/00;B25J19/00
申请日期：
2012-11-08
申请人：
沈阳新松机器人自动化股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	预对准机与机械手相对坐标系的标定方法
申请号	CN201210441423.8	申请日期	2012-11-08
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-05-21	公开/公告号	CN103808285A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B21/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B21/00 不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件〔3〕	IPC分类号	G;0;1;B;2;1;/;0;0;;;B;2;5;J;1;9;/;0;0查看分类表>
申请人	沈阳新松机器人自动化股份有限公司	申请人地址	辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	沈阳新松机器人自动化股份有限公司	当前权利人	沈阳新松机器人自动化股份有限公司
发明人	徐方;吕光;温燕修;张鹏;周道;李学威
代理机构	沈阳科苑专利商标代理有限公司	代理人	许宗富

摘要

本发明公开了一种预对准机与机械手相对坐标系的标定方法，所述标定方法包括：第一、设定预对准机所处的坐标系为xoy坐标系，机械手所处的坐标系为x′o′y′坐标系；第二、利用一处于所述xoy坐标系内的晶圆相对于所述x′o′y′坐标系径向移动，确定所述x′o′y′坐标系在所述xoy坐标系内的姿态；第三、将所述晶圆相对于所述x′o′y′坐标系转动，确定所述x′o′y′坐标系在所述xoy坐标系内的位置，即得到所述机械手与所述预对准机的相对位置关系。本发明可实现真空吸附式机械手在真空吸附式预对准机坐标系下的准确定位，从而可有效提高对晶圆的预对准精度及传输精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供