顶板运送车

1.一种顶板运送车，具备：
行进体，在被配设于顶板侧的行进轨道引导支承的状态下沿行进路径行进；
支承体，悬吊支承于所述行进体，且支承物品；
升降操作机构，相对于所述行进体升降移动操作所述支承体；
连杆机构，配备于所述升降操作机构，上端部连结于所述行进体的上侧连结部、且下端部连结于所述支承体的下侧连结部，沿上下方向伸缩自如；
伸缩用驱动部，配备于所述升降操作机构，令所述连杆机构伸缩；
其特征在于，
所述连杆机构构成为，令上端部与所述上侧连结部摆动自如地连结的上侧连杆体的下端部、和下端部与所述下侧连结部摆动自如地连结的下侧连杆体的上端部绕摆动轴心摆动自如地连结，
一对的所述连杆机构以分别地伸缩自如的状态设置，
所述伸缩用驱动部构成为，令所述一对的连杆机构的一方的第一连杆机构中的所述上侧连杆体、和所述一对的连杆机构的另一方的第二连杆机构中的所述上侧连杆体的各自向相互相反的方向摆动，从而令所述一对的连杆机构的各自伸缩，
所述伸缩用驱动部具有摆动驱动所述第一连杆机构中的所述上侧连杆体的第一伸缩驱动部、和摆动驱动所述第二连杆机构中的所述上侧连杆体的第二伸缩驱动部，设置有控制所述第一伸缩驱动部及所述第二伸缩驱动部的动作的控制部，所述一对的连杆机构的各自中的所述上侧连杆体及所述下侧连杆体形成为棒状，所述第一连杆机构和所述第二连杆机构在相互为相同高度、且沿所述摆动轴心的方向及垂直于所述摆动轴心的水平方向的各方向中的相互不同的位置处，与所述上侧连结部及所述下侧连结部的各自连结，
如下地设置所述一对的连杆机构：在令所述第一连杆机构及所述第二连杆机构的各自最为缩短的状态中，在沿所述摆动轴心看时，所述第一连杆机构中的所述上侧连杆体和所述第二连杆机构中的上侧连杆体交叉，且所述第一连杆机构中的所述下侧连杆体和所述第二连杆机构中的所述下侧连杆体交叉。

顶板运送车\n技术领域\n[0001] 本发明涉及一种顶板运送车，具有：在被配设于顶板侧的行进轨道引导支承的状态下沿行进路径行进的行进体、被悬吊支承于行进体且支承物品的支承体、相对于行进体升降移动操作支承体的升降操作机构、配备于升降操作机构并且上端部与行进体的上侧连结部连结且下端部与支承体的下侧连结部连结而在上下方向中伸缩自如的连杆机构、配备于升降操作机构并且令连杆机构伸缩的伸缩用驱动部。\n背景技术\n[0002] 上述那样的顶板运送车构成为，令行进体沿行进路径行进、在令该行进体在行进路径上的与运送对象位置对应的位置停止的状态下，利用伸缩用驱动部令连杆机构伸缩而令支承体升降移动，从而将物品向运送对象位置运送。作为运送对象位置，例如有使用物品的装置的交接位置、收纳物品的收纳容器的收纳部等。\n[0003] 在日本特开平10－029793号公报（专利文献1）中，公开了这样的顶板运送车的一例。在专利文献1的构成中，连杆机构构成为具有一对的上侧连杆体和一对的下侧连杆体。\n具体而言，将一对的上侧连杆体的长边方向的中间部彼此摆动自如地连结，将一对的下侧连杆体的长边方向的中间部彼此摆动自如地连结，从而由沿上下方向排列的多个X连杆机构构成连杆机构。\n[0004] 在专利文献1中，令由X连杆机构构成的连杆机构沿上下方向伸缩自如，并且将上侧连杆体相对于上侧连结部沿水平方向移动自如地连结，且将下侧连杆体相对于下侧连结部沿水平方向移动自如地连结。\n[0005] 但是，在上述的专利文献1的连杆机构中，需要连结上侧连杆体彼此及下侧连杆体彼此，所以连杆机构的构成变得复杂，并且，需要将上侧连杆体相对于上侧连结部沿水平方向移动自如地连结、及需要将下侧连杆体相对于下侧连结部沿水平方向移动自如地连结。\n因此，连杆机构的与上侧连结部及下侧连结部的连结构造也变得复杂。\n发明内容\n[0006] 用于解决课题的手段\n[0007] 鉴于上述背景，期望实现一种能够简单地构成令支承体升降移动的连杆机构的顶板运送车。\n[0008] 本发明的顶板运送车包括：\n[0009] 行进体，在被配设于顶板侧的行进轨道引导支承的状态下沿行进路径行进；\n[0010] 支承体，被悬吊支承于所述行进体，且支承物品；\n[0011] 升降操作机构，相对于所述行进体升降移动操作所述支承体；\n[0012] 连杆机构，配备于所述升降操作机构，上端部与所述行进体的上侧连结部连结且下端部与所述支承体的下侧连结部连结，沿上下方向伸缩自如；\n[0013] 伸缩用驱动部，配备于所述升降操作机构，令所述连杆机构伸缩；\n[0014] 在此，所述连杆机构构成为，令上端部与所述上侧连结部摆动自如地连结的上侧连杆体的下端部、和下端部与所述下侧连结部摆动自如地连结的下侧连杆体的上端部绕摆动轴心摆动自如地连结，\n[0015] 一对的所述连杆机构以分别地伸缩自如的状态设置，\n[0016] 所述伸缩用驱动部构成为，令所述一对的连杆机构的一方的第一连杆机构中的所述上侧连杆体、和所述一对的连杆机构的另一方的第二连杆机构中的所述上侧连杆体的各自向相互相反的方向摆动，从而令所述一对的连杆机构的各自伸缩。\n[0017] 即，通过利用伸缩用驱动部令一对的连杆机构的各自的上侧连杆体向相互相反的方向摆动而令一对的连杆机构以同步的状态在上下方向中伸缩，能够像在上下方向中两个并列地设置X连杆机构那样地，在令支承体维持为期望的姿态的状态下令支承体升降移动。\n[0018] 而且，无需像由X连杆机构构成连杆机构时那样将上侧连杆体彼此、下侧连杆体彼此连结，此外，无需将上侧连杆体滑动移动自如地连结于上侧连结部、无需将下侧连杆体滑动移动自如地连结于下侧连结部。因此，能够实现连杆机构的构成的简化、以及连杆机构和上侧连结部及和下侧连结部的连结构造的简化。\n[0019] 以下，说明本发明的优选的实施方式的例子。\n[0020] 在本发明的顶板运送车的实施方式中，优选所述伸缩用驱动部具有摆动驱动所述第一连杆机构中的所述上侧连杆体的第一伸缩驱动部、和摆动驱动所述第二连杆机构中的所述上侧连杆体的第二伸缩驱动部，设置有控制所述第一伸缩驱动部及所述第二伸缩驱动部的动作的控制部。\n[0021] 即，利用第一伸缩用驱动部令第一连杆机构中的上侧连杆体向一方向摆动，利用第二伸缩用驱动部令第二连杆机构中的上侧连杆体向另一方向摆动，从而能够令一对的连杆机构的各自的上侧连杆体向相互相反的方向摆动。\n[0022] 而且，由于为利用第一伸缩用驱动部以及第二伸缩用驱动部分别地摆动驱动一对的上侧连杆体的构成，所以与利用单一的伸缩用驱动部令一对的上侧连杆体摆动时相比，作为第一伸缩用驱动部、第二伸缩用驱动部能够使用驱动力小的小型的驱动部。因此，第一伸缩用驱动部、第二伸缩用驱动部的设置变得容易。\n[0023] 在本发明的顶板运送车的实施方式中，优选所述一对的连杆机构的各自中的所述上侧连杆体及所述下侧连杆体形成为棒状，所述第一连杆机构和所述第二连杆机构在相互为相同高度、且沿所述摆动轴心的方向及垂直于所述摆动轴心的水平方向的各方向中的相互不同的位置处，与所述上侧连结部及所述下侧连结部的各自连结，如下地设置所述一对的连杆机构：在令所述第一连杆机构及所述第二连杆机构的各自最为缩短的状态中，在沿所述摆动轴心看时，所述第一连杆机构中的所述上侧连杆体和所述第二连杆机构中的上侧连杆体交叉，且所述第一连杆机构中的所述下侧连杆体和所述第二连杆机构中的所述下侧连杆体交叉。\n[0024] 即，一对的连杆机构的各自使用上侧连杆体和下侧连杆体而形成为く字状。而且，如下地设置一对的连杆机构：在令一对的连杆机构的各自最为缩短的状态中，在沿摆动轴心的方向中看，各上侧连杆体彼此相互交叉，且各下侧连杆体彼此相互交叉。即，一对的连杆机构在垂直于摆动轴心的水平方向中相互接近地设置。因此，与将形成为く字状的一对的连杆机构沿垂直于摆动轴心的水平方向并排地设置时相比，能够在垂直于摆动轴心的水平方向中小的空间中设置一对的连杆机构。\n附图说明\n[0025] 图1是物品运送设备的立体图，\n[0026] 图2是顶板运送车的局部切去侧视图，\n[0027] 图3是表示顶板运送车的要部的立体图，\n[0028] 图4是表示令连杆机构最为缩短的状态的顶板运送车的立体图，\n[0029] 图5是表示令连杆机构最为伸长的状态的顶板运送车的立体图，\n[0030] 图6是表示将基板的姿态从前后姿态切换为横姿态的状态的顶板运送车的立体图，\n[0031] 图7是表示令基板沿面方向倾斜的状态的顶板运送车的立体图，\n[0032] 图8是顶板运送车的倾斜功能的说明图，\n[0033] 图9是顶板运送车的倾斜功能的说明图，\n[0034] 图10是顶板运送车的倾斜功能的说明图，\n[0035] 图11是控制框图，\n[0036] 图12是流程图。\n[0037] 附图标记说明\n[0038] 1…顶板运送车\n[0039] 2…行进轨道\n[0040] 3…行进路径\n[0041] 8…夹持用部件\n[0042] 11…行进体\n[0043] 12…支承体\n[0044] 13…升降操作机构\n[0045] 15…本体部\n[0046] 18…上侧连结部\n[0047] 21…连杆机构\n[0048] 22…伸缩用驱动部\n[0049] 22F…一方侧伸缩用驱动部\n[0050] 22R…另一方侧伸缩用驱动部\n[0051] 23…下侧连结部\n[0052] 24…上侧连杆体\n[0053] 25…下侧连杆体\n[0054] E…运送对象位置\n[0055] e…基板交接部\n[0056] L1…水平轴心\n[0057] W…基板（物品）。\n具体实施方式\n[0058] 以下基于附图说明本发明的实施方式。\n[0059] 如图1所示，配备于物品运送设备的顶板运送车1构成为，以被设置于顶板的行进轨道2引导支承的状态设置，沿经由运送对象位置E的上方的行进路径3行进而运送作为物品的形成为板状的基板W。此外，在本实施方式中，作为基板W，由顶板运送车1运送用于液晶面板等的玻璃基板的加工的光掩模。\n[0060] 另外，将沿着行进方向的水平方向称为前后方向，将与该前后方向垂直的水平方向称为横宽方向而进行说明。在图1中，用箭头X表示前后方向，用箭头Y表示横宽方向。顶板运送车1从前后方向的后方侧（图1的右上侧）向前方侧（图1的左下侧）单方向地行进。\n[0061] 在物品运送设备上，设置有使用基板W（光掩模）进行玻璃基板的加工处理的处理装置4、自如地收纳多张基板W的基板收纳容器6。\n[0062] 而且，顶板运送车1构成为将基板W向基板支承台5的交接位置5a、基板收纳容器6的收纳部6a交出，从交接位置5a、收纳部6a接收基板W。\n[0063] 基板支承台5以相对于处理装置4在横宽方向中邻接的状态设置，在处理装置4中，设置将基板支承台5的基板W取入处理装置4内且将处理装置4内的基板W取出到基板支承台\n5的基板运送装置（未图示）。\n[0064] 基板支承台5的交接位置5a构成为以基板W的表面沿前后方向的姿态（朝向）保持基板W。此外，基板收纳容器6的收纳部6a沿前后方向配备多个，构成为以基板W的表面沿横宽方向的姿态（朝向）保持基板W。\n[0065] 另外，基板支承台5、基板收纳容器6相当于运送对象位置E，基板支承台5的交接位置5a、基板收纳容器6的多个收纳部6a的各自相当于基板保持部e。基板保持部e的各自位于行进路径3的正下方。\n[0066] 基板保持部e具备一对的夹持用部件8，构成为将该一对的夹持用部件8的状态自如地切换为插入状态和夹持状态。在此，插入状态是借助顶板运送车1的支承体12的下降移动而下降的基板W自如地从上方侧插入、在基板W的厚度方向中一对的夹持用部件8相互分离的状态。此外，夹持状态是为了夹持插入到一对的夹持用部件8之间的基板W而令一对的夹持用部件8相互地接近的状态。\n[0067] 对于一对的夹持用部件8，以配备于交接位置5a的一对的夹持用部件8为例进行说明。如图1以及图8～10所示，一对的夹持用部件8以沿横宽方向并列的状态设置，设置为以一对的夹持用部件8的下端部为支点而上端部彼此相互地远离接近移动（即，接近或者离开）地自如摆动。如图8所示，自然状态中一对的夹持用部件8的各自的上端部彼此相互离开而在前后方向中看为倒八字状（V字状），一对的夹持用部件8的状态为插入状态。而且，如图\n9以及图10所示，由于插入的基板W的载荷而下端部被向下方压下，从而一对的夹持用部件8的各自变为铅直姿态，一对的夹持用部件8的状态被切换为夹持基板W的夹持状态。\n[0068] 在本实施方式中，一对的夹持用部件8的各自的上下方向的长度形成为基板W的上下方向的长度的1/3左右的长度，构成为由一对的夹持用部件8以沿厚度方向夹持基板W的下部的形态保持基板W。\n[0069] 另外，对于配备于收纳部6a的一对的夹持用部件8，除了将一对的夹持用部件8设置为沿前后方向并列的状态这一点以外与交接位置5a的一对的夹持用部件8同样地构成，所以省略说明。\n[0070] 如图2以及图4～7所示，顶板运送车1具备：以被行进轨道2引导支承的状态沿行进路径3行进的行进体11、悬吊支承于行进体11且支承基板W的支承体12、相对于行进体11升降移动操作支承体12的升降操作机构13。\n[0071] 〔行进体〕\n[0072] 如图2所示，在行进体11的行进本体部15（相当于本发明中的“本体部”）中，设置被行进用电动马达16旋转驱动而在行进轨道2的上表面上滚动的驱动轮17、与行进轨道2的侧面抵接的旋转自如的引导轮（未图示）。而且，构成为通过驱动轮17被行进用电动马达16旋转驱动、引导轮被行进轨道2接触引导，行进体11被行进轨道2引导而沿行进路径3行进。\n[0073] 如图2以及图3所示，在行进体11上设置有与升降操作机构13连结的上侧连结部\n18。该上侧连结部18相对于行进体11中的行进本体部15绕沿前后方向（行进体11的行进方向）的第1轴心L1（水平轴心）摆动自如地被支承。\n[0074] 而且，在行进体11的行进本体部15上设置有作为令上侧连结部18相对于行进本体部15绕第1轴心L1摆动的摆动用驱动部的摆动用电动马达19。行进体11构成为利用该摆动用电动马达19的驱动令上侧连结部18摆动，如图8～10所示，令连结于上侧连结部18的升降操作机构13绕第1轴心L1摆动。\n[0075] 〔升降操作机构〕\n[0076] 升降操作机构13具备：上端部与行进体11的上侧连结部18连结且下端部与支承体\n12的下侧连结部23连结而在上下方向中伸缩自如的连杆机构21、和令连杆机构21伸缩的伸缩用驱动部22。\n[0077] 如图2以及图3所示，连杆机构21构成为，将上侧连杆体24的上端部相对于行进体\n11的上侧连结部18绕第2轴心L2摆动自如地连结，将上侧连杆体24的下端部与下侧连杆体\n25的上端部绕第3轴心L3摆动自如地连结，将下侧连杆体25的下端部相对于支承体12的下侧连结部23绕第4轴心L4摆动自如地连结。\n[0078] 此外，连杆机构21为，设置为第2轴心L2和第3轴心L3和第4轴心L4为相互地平行的状态，这些第2轴心L2和第3轴心L3和第4轴心L4垂直于第1轴心L1而沿横宽方向。\n[0079] 而且，一对的连杆机构21以分别伸缩自如的状态设置，一对的连杆机构21的各自中的上侧连杆体24以及下侧连杆体25形成为棒状。此外，一对的连杆机构21的各自为，上侧连杆体24和下侧连杆体25形成为相同的长度。\n[0080] 另外，一对的连杆机构21以相互沿前后方向错开的状态连结于上侧连结部18以及下侧连结部23的各自，为了方便，将连结于前侧（图2中的左侧）的一方的连杆机构21称为前侧连杆机构21F，将连结于后侧（图2中的右侧）的另一方的连杆机构21称为后侧连杆机构\n21R。前侧连杆机构21F相当于本发明中的“第一连杆机构”，后侧连杆机构21R相当于本发明中的“第二连杆机构”。\n[0081] 如果进一步说明连杆机构21的设置，则上侧连结部18中的朝向横宽方向的一方侧（右侧）的面上连结前侧连杆机构21F的上侧连杆体24，上侧连结部18中的朝向横宽方向的另一方侧（左侧）的面上连结后侧连杆机构21R的上侧连杆体24。\n[0082] 此外，下侧连结部23中的朝向横宽方向的一方侧（右侧）的面上连结前侧连杆机构\n21F的下侧连杆体25，下侧连结部23中的朝向横宽方向的另一方侧（左侧）的面上连结后侧连杆机构21R的下侧连杆体25。\n[0083] 这样地，一方的连杆机构21相对于另一方的连杆机构21在横宽方向中在不同的位置连结于上侧连结部18以及下侧连结部23的各自。\n[0084] 此外，前侧连杆机构21F的上侧连杆体24和后侧连杆机构21R的上侧连杆体24在相互为相同高度且在前后方向中错开的位置处连结于上侧连结部18，前侧连杆机构21F的下侧连杆体25和后侧连杆机构21R的下侧连杆体25在相互为相同高度且在前后方向错开的位置处连结于下侧连结部23。\n[0085] 这样地，前侧连杆机构21F在与后侧连杆机构21R为相同高度、且相对于后侧连杆机构21R在前后方向中不同的位置处，连结于上侧连结部18以及下侧连结部23的各自。即，前侧连杆机构21F和后侧连杆机构21R在相互为相同高度、且在横宽方向以及前后方向的各方向中相互不同的位置处，连结于上侧连结部18以及下侧连结部23的各自。\n[0086] 例如，一对的连杆机构21的各自以下述状态设置：在横宽方向中看，在从将上侧连杆体24连结于上侧连结部18的位置位于正下方的位置处将下侧连杆体25连结于下侧连结部23。\n[0087] 一对的连杆机构21在横宽方向中看以向相互相反的方向弯折的状态设置。如下地设置一对的连杆机构21：在令一对的连杆机构21的各自最为缩短的状态（参照图4）以及最为伸长的状态（参照图5以及图6）中，在横宽方向中看，前侧连杆机构21F中的上侧连杆体24和后侧连杆机构21R中的上侧连杆体24相互地交叉，且前侧连杆机构21F中的下侧连杆体25和后侧连杆机构21R中的下侧连杆体25相互地交叉。\n[0088] 此外，在令一对的连杆机构21的各自最为缩短的状态中，前侧连杆机构21F中的上侧连杆体24和下侧连杆体25的连结位置位于比后侧连杆机构21R中的上侧连杆体24与上侧连结部18连结的位置及下侧连杆体25与下侧连结部23连结的位置靠后方侧，此外，后侧连杆机构21R中的上侧连杆体24和下侧连杆体25的连结位置位于比前侧连杆机构21F中的上侧连杆体24与上侧连结部18连结的位置及下侧连杆体25与下侧连结部23连结的位置靠前方侧。\n[0089] 伸缩用驱动部22构成为，通过令前侧连杆机构21F中的上侧连杆体24和后侧连杆机构21R中的上侧连杆体24的各自向相互相反的方向摆动，令一对的连杆机构21的各自伸缩。\n[0090] 此外，伸缩用驱动部22具备：作为摆动驱动前侧连杆机构21F中的上侧连杆体24的第一伸缩用驱动部的前侧用电动马达22F、和作为摆动驱动后侧连杆机构21R中的上侧连杆体24的第二伸缩用驱动部的后侧用电动马达22R。\n[0091] 伸缩用驱动部22构成为，在左侧视图中，利用前侧用电动马达22F令前侧连杆机构\n21F的上侧连杆体24顺时针地摆动且利用后侧用电动马达22R令后侧连杆机构21R的上侧连杆体24逆时针地摆动，从而令一对的连杆机构21的各自伸长。此外，伸缩用驱动部22构成为，在左侧视图中，利用前侧用电动马达22F令前侧连杆机构21F的上侧连杆体24逆时针地摆动且利用后侧用电动马达22R令后侧连杆机构21R的上侧连杆体24逆时针地摆动，从而令一对的连杆机构21的各自缩短。\n[0092] 而且，升降操作机构13构成为，通过利用伸缩用驱动部22令一对的连杆机构21的各自伸长令支承体12下降移动、且通过利用伸缩用驱动部22令一对的连杆机构21的各自缩短，令支承体12上升移动。\n[0093] 另外，前侧用电动马达22F设置为其输出轴绕前侧连杆机构21F的上侧连杆体24的第2轴心L2旋转驱动，后侧用电动马达22R设置为其输出轴绕后侧连杆机构21R的上侧连杆体24的第2轴心L2旋转驱动。\n[0094] 此外，通过令前侧用电动马达22F的驱动速度和后侧用电动马达22R的驱动速度不同，能够令基板W一边沿面方向倾斜一边升降。此外，通过仅令前侧用电动马达22F驱动或仅令后侧用电动马达22R驱动，如图7所示，能够令基板W沿面方向倾斜。在此，令基板W沿面方向倾斜是指以伴随着倾斜的基板W的各部的移动方向为与基板W的面平行的方向的方式令基板W倾斜。\n[0095] 〔支承体〕\n[0096] 如图2以及图3所示，支承体12具有摆动部27。摆动部27相对于与连杆机构21的下侧连杆体25连结的下侧连结部23，绕沿前后方向的第5轴心L5摆动自如地被支承。而且，摆动部27绕沿上下方向的第6轴心L6旋转自如地支承用于支承基板W的支承部28。\n[0097] 此外，在支承体12上具备：令支承部28相对于摆动部27绕第6轴心L6旋转驱动的旋转用电动马达29（参照图11）、以及用于切换摆动部27相对于下侧连结部23绕第5轴心L5摆动自如的状态和限制摆动部27相对于下侧连结部23绕第5轴心L5摆动的状态的切换用电动压力缸30（参照图11）。\n[0098] 而且，构成为通过利用旋转用电动马达29旋转驱动支承部28，如图6所示，支承部\n28以及支承于该支承部28的基板W绕第6轴心L6旋转，能够将基板W的姿态（朝向）切换为基板W的表面沿前后方向的前后姿态（参照图5）和基板W的表面沿横宽方向的横姿态（参照图\n6）。\n[0099] 此外，构成为在将基板W的姿态姿态变更为前后姿态的状态下，令顶板运送车1沿行进路径3行进移动，且将基板W交出到基板支承台5的交接位置5a。此外，构成为在将基板W的姿态姿态变更为横姿态的状态下，将基板W交出到基板收纳容器6的收纳部6a。\n[0100] 此外，省略详细的说明，切换用电动压力缸30设置为令设置于下侧连结部23侧的接触部件（未图示）升降移动。构成为通过利用切换用电动压力缸30令接触部件下降移动到与摆动部27接触的限制位置，限制摆动部27相对于下侧连结部23摆动，此外，通过利用切换用电动压力缸30令接触部件上升移动到从摆动部27离开的限制解除位置，切换为解除摆动部27的摆动限制而摆动部27相对于下侧连结部23自由地摆动的状态。\n[0101] 而且，在解除了摆动部27的摆动限制的状态中，如图9以及图10所示，即便由于摆动用电动马达19的动作而连杆机构21绕第1轴心L1摆动，借助摆动部27绕第5轴心L5摆动而基板W的姿态不发生变化，维持基板W的表面沿着铅直方向的姿态。\n[0102] 如图11所示，在顶板运送车1上设置控制装置H2。控制装置H2控制行进用电动马达\n16、摆动用电动马达19、前侧用电动马达22F、后侧用电动马达22R、旋转用电动马达29、以及切换用电动压力缸30的动作。控制装置H2构成为，基于来自设置于地上侧的上位控制器H1的控制指令，控制设置于顶板运送车1的电动马达的动作，以便进行将基板W向运送对象位置E交出的交接处理、和将基板W从运送对象位置E接收的接收处理。\n[0103] 此外，有时由于基板支承台5、基板收纳容器6的设置误差，运送对象位置E相对于行进路径3从正下方的位置向横宽方向偏移。对于这样地位置偏移的运送对象位置E，存储位置偏移位置，对于作为该位置偏移位置而存储的运送对象位置E，预先存储修正摆动量，所述修正摆动量由相对于行进路径3的运送对象位置E的横宽方向中的偏移量以及运送对象位置E和顶板运送车1的高低差求得。\n[0104] 对于交接处理，基于图12所示的流程进行说明。\n[0105] 首先，进行行进控制，令支承基板W的顶板运送车1停止在与运送对象位置E对应的停止位置。然后，在运送对象位置E为基板收纳容器6的收纳部6a时，进行令旋转用电动马达\n29动作而令支承部28相对于摆动部27绕第6轴心L6旋转90°的旋转控制。此外，在运送对象位置E为位置偏移位置时，进行倾斜控制，所述倾斜控制为，令切换用电动压力缸30动作而切换为限制解除状态，令摆动用电动马达19动作而令上侧连结部18相对于行进本体部15绕第1轴心L1摆动修正摆动量，然后令切换用电动压力缸30动作而切换为限制状态。然后，进行令前侧用电动马达22F以及后侧用电动马达22R动作而令一对的连杆机构21伸长的伸长控制，令基板W向基板保持部e移动。\n[0106] 另外，接收处理是以与交接处理相反的顺序进行的处理，省略其说明。\n[0107] 〔其他实施方式〕\n[0108] （1）在上述实施方式中，作为例子说明了伸缩用驱动部22具有摆动驱动一方的连杆机构21（第一连杆机构）中的上侧连杆体24的第一伸缩驱动部、和摆动驱动另一方的连杆机构21（第二连杆机构）中的上侧连杆体24的第二伸缩驱动部的构成，但也可以由摆动驱动一方的连杆机构21中的上侧连杆体24和另一方的连杆机构21中的上侧连杆体24的两侧伸缩驱动部构成伸缩用驱动部22。此外，此时，以令一对的上侧连杆体24向相互相反的方向摆动的方式，经由齿轮等的连动机构连动连结两侧伸缩驱动部和一对的上侧连杆体24。\n[0109] （2）在上述实施方式中，作为例子说明了在令一对的连杆机构21的各自最为缩短的状态中，在沿摆动轴心的方向中看，一对的上侧连杆体24彼此相互交叉、且一对的下侧连杆体25彼此相互交叉的构成，但也可以将一对的连杆机构21设置为在垂直于摆动轴心的水平方向中并排，使得在令一对的连杆机构21的各自最为缩短的状态中，在沿摆动轴心的方向中看，一对的上侧连杆体24彼此不重叠，且一对的下侧连杆体25彼此不重叠。\n[0110] （3）在上述实施方式中，作为例子说明了基板保持部e以一对的夹持用部件8的下端部为支点而令上端部彼此相互地远离接近移动而将一对的夹持用部件8的状态切换为插入状态和夹持状态的构成，但也可以基板保持部e构成为通过令一对的夹持用部件8的整体相互地远离接近移动而将一对的夹持用部件8的状态切换为插入状态和夹持状态。\n[0111] 此外，在上述实施方式中，作为例子说明了利用插入的基板W的自重而将一对的夹持用部件8的状态从插入状态切换为夹持状态的构成，但也可以构成为设置驱动操作一对的夹持用部件8的驱动机构，利用该驱动机构的驱动将一对的夹持用部件8的状态从插入状态切换为夹持状态。\n[0112] （4）在上述实施方式中，作为例子说明了作为基板运送光掩模的构成，但作为基板也可以运送液晶玻璃基板、有机EL面板等的其他的基板。此外，作为物品，除了基板以外也可以是纸板箱、集装箱、或者收纳多个基板的基板收纳容器等。