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单晶金刚石合成装置和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810408768.0
IPC分类号：C30B29/04;C30B25/02
申请日期：
2018-05-02
申请人：
苏州贝莱克晶钻科技有限公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	单晶金刚石合成装置和方法
申请号	CN201810408768.0	申请日期	2018-05-02
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-07-24	公开/公告号	CN108315818A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/02 元素〔3〕 C30B29/04 金刚石〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;0;4;;;C;3;0;B;2;5;/;0;2查看分类表>
申请人	苏州贝莱克晶钻科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号D栋711室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州贝莱克晶钻科技有限公司	当前权利人	苏州贝莱克晶钻科技有限公司
发明人	马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬
代理机构	南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	王锋;王茹

摘要

本申请公开了一种单晶金刚石合成装置，包括微波源、等离子体耦合装置和谐振装置，所述谐振装置包括一谐振腔，所述谐振腔内具有一金刚石生长面，等离子体耦合装置能够将来自所述微波源的微波在金刚石生长面的下方激发形成等离子体。本申请还公开了一种单晶金刚石合成方法。本发明通过在基片下表面沉积金刚石薄膜，可以有效的解决金刚石生产过程中的杂质污染。

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