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一种蚀刻用循环槽

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921498398.0
IPC分类号：C23F1/08;C23F1/46
申请日期：
2019-09-10
申请人：
长沙利洁环保科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种蚀刻用循环槽
申请号	CN201921498398.0	申请日期	2019-09-10
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F1/08 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F1/00 金属材料的化学法蚀刻〔2〕 C23F1/08 装置，如照相印刷制版装置	IPC分类号	C;2;3;F;1;/;0;8;;;C;2;3;F;1;/;4;6查看分类表>
申请人	长沙利洁环保科技有限公司	申请人地址	湖南省长沙市长沙高新开发区麓松路789号工业厂房一楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长沙利洁环保科技有限公司	当前权利人	长沙利洁环保科技有限公司
发明人	聂国勇;陈仁华
代理机构	长沙优企知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘佳芳

摘要

本实用新型公开了一种蚀刻用循环槽，所述循环槽内设有阳极循环区、蚀刻循环区和阴极循环区；该循环槽主要用于蚀刻废液的循环与再利用，结构简单合理。阳极循环区、蚀刻循环区和阴极循环区分别设有排气口,排气口用于将循环槽内的废气排出,排出的废气被废气吸收装置内的溶液吸收，保护环境。

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