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化学机械抛光组合物及有关的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200510082371.X
IPC分类号：C08J5/14;C08L33/00;H01L21/304
申请日期：
2005-06-24
申请人：
罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	化学机械抛光组合物及有关的方法
申请号	CN200510082371.X	申请日期	2005-06-24
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2006-01-04	公开/公告号	CN1715311
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C08J5/14 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C08 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物 C08J 加工；配料的一般工艺过程；不包括在C08B，C08C，C08F，C08G或C08H小类中的后处理（塑料的加工，如成型入B29）〔2〕 C08J5/00 含有高分子物质的制品或成形材料的制造（半透膜的制造入B01D 67/00至B01D 71/00）〔2〕 C08J5/14 磨蚀或摩擦的制品或材料的制造〔2〕	IPC分类号	C;0;8;J;5;/;1;4;;;C;0;8;L;3;3;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人	罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司	申请人地址	美国特拉华州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司	当前权利人	罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
发明人	F·J·凯勒;J·匡西;J·K·索;王红雨
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	沙永生

摘要

本发明提供一种可用于半导体晶片化学机械平面化的含水组合物，它含有含金属的氧化剂、非铁金属的抑制剂、非铁金属的络合剂、改性纤维素、0.001～10重量%第一共聚物和第二共聚物的共聚物混合物，以及余量的水。

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