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半导体结构及其形成方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810026748.7
  • IPC分类号:H01L21/8234;H01L27/088
  • 申请日期:
    2018-01-11
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路新技术研发(上海)有限公司
著录项信息
专利名称半导体结构及其形成方法
申请号CN201810026748.7申请日期2018-01-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-07-19公开/公告号CN110034068A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8234
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;4;;;H;0;1;L;2;7;/;0;8;8查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路新技术研发(上海)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路新技术研发(上海)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路新技术研发(上海)有限公司
发明人李程
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人徐文欣;吴敏
摘要
一种半导体结构及其形成方法,其中方法包括:提供基底,基底上具有第一鳍部、以及分别位于第一鳍部两侧的第二鳍部和第三鳍部,所述第一鳍部到第二鳍部的距离与第一鳍部到第三鳍部的距离不同,第一鳍部的顶部表面具有掩膜层;在基底表面形成初始隔离层,初始隔离层覆盖第一鳍部的侧壁以及掩膜层的部分侧壁;去除掩膜层,在初始隔离层内形成第一开口;在初始隔离层表面以及第一开口内形成牺牲膜,牺牲膜内具有位于第一开口上的第二开口,第二开口的深度小于第一开口的深度。所述方法形成的半导体器件的性能较好。

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