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一种区熔炉的过压保护装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201821039886.0
  • IPC分类号:C30B13/00
  • 申请日期:
    2018-06-29
  • 申请人:
    天津中环领先材料技术有限公司
著录项信息
专利名称一种区熔炉的过压保护装置
申请号CN201821039886.0申请日期2018-06-29
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C30B13/00IPC分类号C;3;0;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人天津中环领先材料技术有限公司申请人地址
江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中环领先半导体材料有限公司,天津中环领先材料技术有限公司当前权利人中环领先半导体材料有限公司,天津中环领先材料技术有限公司
发明人赵阳;刘琨;郝大维;王克旭;张凤佐;李军;孙晨光;王彦君;孙健
代理机构天津滨海科纬知识产权代理有限公司代理人杨慧玲
摘要
本实用新型提供了一种区熔炉的过压保护装置,包括置于区熔炉体外壁连通的管路,所述管路的另一端与外部空气连通,所述管路上设有防爆阀,通过所述防爆阀将所述区熔炉体密封,所述防爆阀和所述区熔炉体外壁之间的所述管路上还设有压力传感器。本实用新型所述的一种区熔炉的过压保护装置,通过设计的装置,能够对炉体内的气体压强进行监控或者保证炉体密封处的压强不会超过炉体额定压力,实现自动的调节,保证区熔炉体的安全性能。

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