RAMO4基板及其制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710066347.X
IPC分类号：C30B29/22;C30B29/64;C30B25/18;B24B1/00;B24B37/00
申请日期：
2017-02-06
申请人：
松下知识产权经营株式会社

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著录项信息

专利名称	RAMO4基板及其制造方法
申请号	CN201710066347.X	申请日期	2017-02-06
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2017-09-01	公开/公告号	CN107119320A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/22 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/10 无机化合物或组合物〔3〕 C30B29/16 氧化物〔3〕 C30B29/22 复合氧化物〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;2;2;;;C;3;0;B;2;9;/;6;4;;;C;3;0;B;2;5;/;1;8;;;B;2;4;B;1;/;0;0;;;B;2;4;B;3;7;/;0;0查看分类表>
申请人	松下知识产权经营株式会社	申请人地址	日本国大阪府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	松下知识产权经营株式会社	当前权利人	松下知识产权经营株式会社
发明人	鹰巢良史;冈山芳央;石桥明彦;田代功;上田章雄;信冈政树;领木直矢
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	葛凡

摘要

本发明的课题在于提供更高品质的基板。解决方法为一种RAMO4基板，其是包含通式RAMO4所表示的单晶体(通式中，R表示选自Sc、In、Y和镧系元素中的一个或多个三价元素，A表示选自Fe(III)、Ga和Al中的一个或多个三价元素，M表示选自Mg、Mn、Fe(II)、Co、Cu、Zn和Cd中的一个或多个二价元素)的RAMO4基板，在至少一面具有外延生长面，所述外延生长面具有有规则性分布的、相互分离的多个劈开面。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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