用于在大气压下产生低温等离子体的装置

发明专利无效专利

申请号：
CN02804879.2
IPC分类号：--
申请日期：
2002-02-08
申请人：
SE等离子体公司

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著录项信息

专利名称	用于在大气压下产生低温等离子体的装置
申请号	CN02804879.2	申请日期	2002-02-08
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-04-21	公开/公告号	CN1491527
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	SE等离子体公司	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	SE等离子体公司	当前权利人	SE等离子体公司
发明人	南基锡;李相老;李九铉;罗钟周;金钟国
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	张浩

摘要

本发明公开了一种用于在大气压下产生低温等离子体的装置，该装置包括：彼此相对的一对电极，该对电极间开一定距离，它们中的一个与电源相连，另一个接地；一对厚度为25um-10mm的电介质，该对电介质布置在电极的相对表面上，从而彼此相对，它们中的一个内有至少一个放电间隙；以及导体电极，该导体电极有至少一个尖端，该至少一个尖端布置在放电间隙内，其中，通过采用频带为50Hz-10GHz的脉冲直流电或交流电，同时在电极之间供给反应气体，从而由电源在电极之间施加1-100KV/cm的电场强度，以便由放电间隙引起空心阴极放电、毛细管放电或电荷高度积累。本发明能防止等离子体转变成电弧，从而产生稳定、高密度的低温等离子体。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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