一种微机电系统及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201911408207.1
IPC分类号：B81B5/00;B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;B81C3/00
申请日期：
2019-12-31
申请人：
华为技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种微机电系统及其制备方法
申请号	CN201911408207.1	申请日期	2019-12-31
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-16	公开/公告号	CN113120850A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B5/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B5/00 由彼此相对移动的元件组成的装置，例如由滑动或转动元件组成〔7〕	IPC分类号	B;8;1;B;5;/;0;0;;;B;8;1;B;7;/;0;0;;;B;8;1;B;7;/;0;2;;;B;8;1;C;1;/;0;0;;;B;8;1;C;3;/;0;0查看分类表>
申请人	华为技术有限公司	申请人地址	广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华为技术有限公司	当前权利人	华为技术有限公司
发明人	孙丰沛;冯志宏;徐景辉
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明提供了一种微机电系统MEMS装置，包括：第一固定梳齿，第二固定梳齿，支撑梁，活动平台和活动梳齿；其中：所述第一固定梳齿和第二固定梳齿固定在基板上，所述第一固定梳齿和第二固定梳齿之间电学隔离；所述支撑梁的两端固定在基板上，所述活动平台连接在支撑梁上；所述活动梳齿连接在所述活动平台上，并与所述第一固定梳齿和第二固定梳齿形成三层梳齿结构。这样的结构提高了MEMS装置的驱动效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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