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镶嵌配线构造、致动装置、和镶嵌配线构造的制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201980071401.7
  • IPC分类号:H01L21/3205
  • 申请日期:
    2019-10-30
  • 申请人:
    浜松光子学株式会社
著录项信息
专利名称镶嵌配线构造、致动装置、和镶嵌配线构造的制造方法
申请号CN201980071401.7申请日期2019-10-30
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-08-06公开/公告号CN113228240A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/3205
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;2;0;5查看分类表>
申请人浜松光子学株式会社申请人地址
日本静冈县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浜松光子学株式会社当前权利人浜松光子学株式会社
发明人铃木大几;井上直;柴山胜己
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司代理人杨琦
摘要
本发明提供一种镶嵌配线构造,其具备:基底,其具有设置有槽部的主面;绝缘层,其具有:设置于槽部的内表面上的第一部分;和与第一部分一体地形成,并且设置于主面上的第二部分;金属层,其设置于绝缘层的第一部分上;配线部,其埋入于槽部内,并且与金属层接合;以及覆盖层,其以覆盖绝缘层的第二部分、金属层的端部、和配线部的方式设置。绝缘层中的第一部分与第二部分的边界部分的与基底为相反侧的表面,包含在从配线部的延伸方向观察的情况下,相对于与主面垂直的方向倾斜的倾斜面。金属层的端部进入到覆盖层与倾斜面之间,在端部,沿着覆盖层的第一表面与沿着倾斜面的第二表面成锐角。

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