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一种混合等离子效应辅助的槽式波导TE模检偏器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201711349753.3
  • IPC分类号:G02B6/126
  • 申请日期:
    2017-12-15
  • 申请人:
    东南大学
著录项信息
专利名称一种混合等离子效应辅助的槽式波导TE模检偏器
申请号CN201711349753.3申请日期2017-12-15
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-05-18公开/公告号CN108051889A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B6/126IPC分类号G;0;2;B;6;/;1;2;6查看分类表>
申请人东南大学申请人地址
江苏省南京市玄武区四牌楼2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东南大学当前权利人东南大学
发明人肖金标;倪斌
代理机构南京经纬专利商标代理有限公司代理人黄欣
摘要
本发明公开了一种混合等离子效应辅助的槽式波导TE模检偏器,该检偏器由下至上依次为硅基衬底、掩埋氧化层、检偏部件和上包层,其中掩埋氧化层生长于硅基衬底的上表面,上包层覆盖掩埋氧化层的上表面,检偏部件水平生长于掩埋氧化层的上表面,并被上包层覆盖;所述检偏部件包括输入波导、过渡波导A、直通波导、过渡波导B,输出波导和右路直通波导。本发明提供的槽式波导TE模检偏器具有低插入损耗、高消光比、大制造容差以及大工作带宽的优点。

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