一种单驱动两侧夹紧装置及整片机构

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020389116.X
IPC分类号：H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687;H01L31/18
申请日期：
2020-03-24
申请人：
罗博特科智能科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种单驱动两侧夹紧装置及整片机构
申请号	CN202020389116.X	申请日期	2020-03-24
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/673 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/673 使用专用的载体的〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	罗博特科智能科技股份有限公司	申请人地址	江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	罗博特科智能科技股份有限公司	当前权利人	罗博特科智能科技股份有限公司
发明人	吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵
代理机构	苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	李艾

摘要

本实用新型公开了一种单驱动两侧夹紧装置及整片机构，所述的单驱动两侧夹紧装置包括升降板、安装在所述的升降板上的第二气缸、安装在所述的第二气缸上的能够在第二气缸的驱动下沿Y向移动的驱动板，所述的驱动板为楔形结构，驱动板的前后两侧具有一斜边，所述的驱动板的小头位于驱动板的伸出方向，所述的驱动板的大头位于驱动板缩回方向，所述的升降板上设有一沿X向延伸的滑轨、两个分别位于驱动板前后两侧的夹紧组件，所述的驱动板的前后两侧还分别设置有弹簧拉力机构，所述的弹簧拉力机构的一端固定于所述的升降板上，另一端固定在所述的夹紧组件上。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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