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晶片等级的光学组件对准

发明专利无效专利

申请号：
CN200780024572.1
IPC分类号：G02B6/12;G02B6/26;G02B6/30;G02B6/42
申请日期：
2007-06-29
申请人：
应用材料股份有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	晶片等级的光学组件对准
申请号	CN200780024572.1	申请日期	2007-06-29
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2009-08-05	公开/公告号	CN101501543
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B6/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B6/00 光导；包含光导和其他光学元件（如耦合器）的装置的结构零部件〔4，6〕 G02B6/10 光波导式的（G02B 6/02，G02B 6/24优先，用电、磁、电磁或电声装置进行光的控制入G02F 1/00；变换受调制光的调制入G02F 2/00；光学逻辑元件入G02F 3/00；光学模拟/数字变换器入G02F 7/00；使用电光元件的存储器入G11C 11/42；电波导管入H01P；通过光学装置传输信息的入H04B 10/00；多路系统入H04J 14/00）〔4，8〕 G02B6/12 集成光路类型（单晶的制备和加工入C30B；集成电路入H01L 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;2;B;6;/;1;2;;;G;0;2;B;6;/;2;6;;;G;0;2;B;6;/;3;0;;;G;0;2;B;6;/;4;2查看分类表>
申请人	应用材料股份有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	A·戈贝尔;L·C·韦斯特;G·L·武伊齐克
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	陆嘉

摘要

本发明揭示制造一光学组件的方法。在一光学材料板的第一表面附近或之上置放一主动式光学组件。于该板的一第二表面上形成一被动式光学组件，该第二表面是大致平行于该第一表面。使用一种微影对准工艺，将该被动式光学组件的光轴对准于该被动光学组件及该主动式光学组件的主动区之间的光学路径。

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