悬臂伺服机械手

发明专利有效专利

申请号：
CN201210426383.X
IPC分类号：B23Q7/04;B25J9/02;B25J15/08
申请日期：
2012-10-31
申请人：
苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司

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著录项信息

专利名称	悬臂伺服机械手
申请号	CN201210426383.X	申请日期	2012-10-31
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2013-02-06	公开/公告号	CN102909600A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23Q7/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23Q 机床的零件、部件或附件，如仿形装置或控制装置（在车床或镗床上使用的各类刀具入B23B 27/00）；以特殊零件或部件的结构为特征的通用机床；不针对某一特殊金属加工用途的金属加工机床的组合或联合 B23Q7/00 专门组合于，或配置于，或专门适用于，机床有关的工件操纵装置，如用于运送，加料，定位，卸下，分级的（结合在工作主轴中的入B23B 13/00，B23B 19/02；用于自动或半自动车床的入B23B 15/00）〔2〕 B23Q7/04 用夹爪	IPC分类号	B;2;3;Q;7;/;0;4;;;B;2;5;J;9;/;0;2;;;B;2;5;J;1;5;/;0;8查看分类表>
申请人	苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司	申请人地址	江苏省苏州市苏州工业园区唯新路99号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司	当前权利人	苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司
发明人	陈守亮;景建平;唐志稳;陈华轩;朱晓伟;王卫林
代理机构	苏州创元专利商标事务所有限公司	代理人	马明渡

摘要

一种悬臂伺服机械手，其特征在于：由机架、X轴向驱动机构、Y轴向驱动机构、Z轴向驱动机构以及两工件夹爪组成；其中，所述Y轴向驱动机构包括两条Y轴向导轨、一Y轴向丝杠螺母机构以及Y轴向伺服电机；所述X轴向驱动机构包括一X轴向基座、一X轴向导轨、一X轴向丝杠螺母机构以及X轴向伺服电机；X轴向基座的一端经所述Y轴向导轨相对机架滑动连接，且与Y轴向丝杠螺母机构中的螺母固定连接；所述Z轴向驱动机构包括一Z轴向基座以及Z轴向驱动气缸，经所述X轴向导轨相对X轴向基座滑动连接；所述Z轴向驱动气缸设于Z轴向基座上，其作用杆沿Z轴向伸出与所述工作夹爪连接。本发明结构简单，故节省空间、成本较低、操作简易、维护方便。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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