一种槽式电化学沉积用药液添加装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120259417.5
IPC分类号：C25D17/00;C25D21/14
申请日期：
2021-01-29
申请人：
苏州晶洲装备科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种槽式电化学沉积用药液添加装置
申请号	CN202120259417.5	申请日期	2021-01-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C25D17/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C25 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕 C25D 覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸（印刷电路的金属沉积法制造入H05K 3/18）；工件的电解法接合；所用的装置（阳极或阴极保护入 C23F13/00；单晶生长入C30B）〔2，6〕 C25D17/00 电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件〔2〕	IPC分类号	C;2;5;D;1;7;/;0;0;;;C;2;5;D;2;1;/;1;4查看分类表>
申请人	苏州晶洲装备科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市常熟辛庄镇光华环路32号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州晶洲装备科技有限公司	当前权利人	苏州晶洲装备科技有限公司
发明人	蒋新;张军;施利君;陈书良
代理机构	苏州根号专利代理事务所（普通合伙）	代理人	朱华庆

摘要

本实用新型涉及一种槽式电化学沉积用药液添加装置，它包括：加液桶，所述加液桶内设置有液位计；进液管路，所述进液管路的出口连接在所述加液桶底部；出液管路，所述出液管路的进口连接在所述加液桶底部，所述出液管路中设置有气动阀，所述气动阀的出液端设置有节流片。由于进液管路连接在加液桶底部，因此加液时不会冲液液面，不会影响液位计测量液位；且气动阀的出端液设置有节流片，小流量补加进入槽体，可避免气动阀直接开合而挤压管道内残留的药液继续向槽内补加，造成补加不准的问题。因此，提高了药液加液精度。

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