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具有行移透镜多光束扫描仪的暗场检测设备及其方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN03809048.1
  • IPC分类号:G01N21/00
  • 申请日期:
    2003-03-14
  • 申请人:
    应用材料以色列有限公司
著录项信息
专利名称具有行移透镜多光束扫描仪的暗场检测设备及其方法
申请号CN03809048.1申请日期2003-03-14
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2005-07-27公开/公告号CN1646894
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/00IPC分类号G01N21/00查看分类表>
申请人应用材料以色列有限公司申请人地址
以色列雷*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料以色列有限公司当前权利人应用材料以色列有限公司
发明人R·纳夫塔利;S·赖因霍恩
代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司代理人赵蓉民
摘要
本发明提供一种用于样品如半导体晶片(108)的暗场检测的系统,该系统使用提供光束的激光光源(101)。该系统包括:提供光束的光源(101);行移透镜声光器件(104),它具有有源区和响应RF输入信号而在所述有源区中同时产生多个行移透镜,每个透镜具有焦点,所述行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束和在每个所产生的行移透镜的各个焦点处产生多个斑点束,所述多个斑点束扫描所述样品的第一表面,由此产生相应的反射光束和透射光束中的至少之一的多个光束;而反射光束和透射光束的至少之一包括明场和暗场成分;和用于收集和检测暗场成分的暗场光学装置。

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