高分辨数字干涉仪空间分辨率的标定方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200510027683.0
IPC分类号：G01B9/021;G03H1/04
申请日期：
2005-07-12
申请人：
中国科学院上海光学精密机械研究所

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著录项信息

专利名称	高分辨数字干涉仪空间分辨率的标定方法
申请号	CN200510027683.0	申请日期	2005-07-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2005-12-21	公开/公告号	CN1710376
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B9/021 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B9/00 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器（用于测量特定的参量的装置入G01B 11/00）〔2〕 G01B9/02 干涉仪 G01B9/021 用全息照相技术的〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;9;/;0;2;1;;;G;0;3;H;1;/;0;4查看分类表>
申请人	中国科学院上海光学精密机械研究所	申请人地址	上海市800－211邮政信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所	当前权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人	陈建文;高鸿奕;李儒新;徐至展
代理机构	上海新天专利代理有限公司	代理人	张泽纯

摘要

一种高分辨数字干涉仪空间分辨率的标定方法，包括以下步骤搭建一个马赫-陈德尔干涉仪，并用一CCD探测器拍摄一张带有载波条纹的干涉图样；在该马赫-陈德尔干涉仪的一臂中，插入一块精度为λ/10的位相样板，再拍摄一张被样板调制的载波条纹的干涉图样；将上述两张干涉图样输入到计算机中去，分别进行傅里叶变换，在频域中将零级波和负一级波或正一级波滤掉，然后对留下的正一级波或负一级波进行逆变换，取出干涉图样的位相信息，并将所取出的两个位相信息相减后进行放大；在从位相放大的干涉图中，取出比较平坦的局域部分，再进行位相差放大，即可完成数字干涉仪空间分辨率的标定。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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