一体成型光纤微传感器及其制作方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201010280559.6
IPC分类号：G01D5/353;G02B6/245;G02B6/24
申请日期：
2010-09-14
申请人：
北京理工大学

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著录项信息

专利名称	一体成型光纤微传感器及其制作方法
申请号	CN201010280559.6	申请日期	2010-09-14
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2011-02-23	公开/公告号	CN101979963A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01D5/353 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01D 非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试 G01D5/00 用于传递传感构件的输出的机械装置；将传感构件的输出变换成不同变量的装置，其中传感构件的形式和特性不限制变换装置；非专用于特定变量的变换器（G01D 3/00优先；专门适用于给出除变量的瞬时值以外的结果的仪表入G01D 1/00）〔6〕 G01D5/26 采用光学装置，即应用红外光、可见光或紫外光 G01D5/32 利用光束的减弱或者全部或局部的闭塞（G01D 5/40优先） G01D5/34 利用光电元件检测光束 G01D5/353 影响光纤的传输特性〔6〕	IPC分类号	G;0;1;D;5;/;3;5;3;;;G;0;2;B;6;/;2;4;5;;;G;0;2;B;6;/;2;4查看分类表>
申请人	北京理工大学	申请人地址	北京市海淀区中关村南大街5号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京理工大学	当前权利人	北京理工大学
发明人	姜澜;赵龙江;王素梅
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明涉及一种一体成型光纤微传感器及其制作方法，属于微型传感器技术领域。本发明采用飞秒激光脉冲技术在光纤某个部位的去除涂覆层的侧面加工出一定宽度的凹槽，凹槽的深度略小于该侧表面到纤芯的距离以保证纤芯的完整性，凹槽的底面为折射率均匀增大的烧蚀界面薄层；并在整个过程采用吹气方法去除烧蚀碎末以保证加工效果。本发明的微传感器不存在组装或移动部件，具有一体成型、结构简单、机械强度好、耦合效率高等优点，克服了分别制备和组装平面波导耦合光纤微传感器的不稳定性等缺陷。该传感器能够检测环境中特定分子的存在及浓度，还可用于检测温度或压力变化。

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