一种肖特基芯片加工用清洗装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202122062451.6
IPC分类号：B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;B01D46/12
申请日期：
2021-08-30
申请人：
福建安特微电子有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种肖特基芯片加工用清洗装置
申请号	CN202122062451.6	申请日期	2021-08-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/02 用喷射力来清洁	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;0;2;;;B;0;8;B;3;/;0;8;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;B;0;1;D;4;6;/;1;2查看分类表>
申请人	福建安特微电子有限公司	申请人地址	福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3555号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	福建安特微电子有限公司	当前权利人	福建安特微电子有限公司
发明人	黄赛琴;黄福仁;陈轮兴
代理机构	深圳紫晴专利代理事务所（普通合伙）	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种肖特基芯片加工用清洗装置，包括支架、清洗仓、废液仓、工作台、清洗液仓、清洗水泵、喷液管和升降气缸，所述工作台设于支架内壁底面上，所述升降气缸设于支架内上壁下，所述清洗仓设于升降气缸和工作台之间，所述废液仓设于支架内壁底面上且连接于清洗仓内，所述清洗液仓设于支架内壁底面上，所述清洗水泵设于清洗液仓顶部且连接于清洗液仓内，所述喷液管一端设于清洗仓内，所述喷液管另一端连接于清洗水泵上。本实用新型属于芯片加工技术领域，具体是指一种通过抽气泵和过滤管，将清洗仓内空气中漂浮的杂质清除，避免杂质粘附芯片，影响芯片质量的肖特基芯片加工用清洗装置。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供