微机电结构以及微型投影仪设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020363275.2
IPC分类号：H04N9/31;G02B26/10;G03B21/00
申请日期：
2020-03-20
申请人：
意法半导体股份有限公司

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著录项信息

专利名称	微机电结构以及微型投影仪设备
申请号	CN202020363275.2	申请日期	2020-03-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H04N9/31 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H04 电通信技术 H04N 图像通信，如电视 H04N9/00 彩色电视系统的零部件〔4〕 H04N9/12 图像重现器（H04N 9/11优先）〔2，4〕 H04N9/31 彩色图像显示用的投影装置〔2，4〕	IPC分类号	H;0;4;N;9;/;3;1;;;G;0;2;B;2;6;/;1;0;;;G;0;3;B;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	意法半导体股份有限公司	申请人地址	意大利阿格拉布里安扎变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	意法半导体股份有限公司	当前权利人	意法半导体股份有限公司
发明人	N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利
代理机构	北京市金杜律师事务所	代理人	董莘

摘要

本公开的实施例涉及微机电结构以及微型投影仪设备。一种微机电结构，包括：半导体材料的体部，该体部具有固定框架，该固定框架在内部限定腔；可移动块，该可移动块弹性地悬挂在腔中，并且利用围绕第一旋转轴线的第一谐振运动、以及围绕与第一旋转轴线正交的第二旋转轴线的第二谐振运动而可移动。以悬臂方式在腔中延伸的第一对和第二对支撑元件刚性地耦合到框架，并且可压电变形以引起可移动块围绕第一旋转轴线和第二旋转轴线的旋转。第一对和第二对弹性耦合元件弹性地耦合在可移动块与第一对和第二对支撑元件之间。由于第一对和第二对弹性耦合元件，可移动块的第一和第二旋转运动彼此解耦合并且彼此不干扰。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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