一种基于模糊控制的HVPE温度控制系统及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201911279953.5
IPC分类号：C30B25/16;C30B25/10;C30B29/40
申请日期：
2019-12-13
申请人：
山东大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种基于模糊控制的HVPE温度控制系统及方法
申请号	CN201911279953.5	申请日期	2019-12-13
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-04-20	公开/公告号	CN112680789A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B25/16 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B25/00 反应气体化学反应法的单晶生长，例如化学气相沉积生长〔3〕 C30B25/02 外延层生长〔3〕 C30B25/16 控制或调节（一般的控制或调节入G05）〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;5;/;1;6;;;C;3;0;B;2;5;/;1;0;;;C;3;0;B;2;9;/;4;0查看分类表>
申请人	山东大学	申请人地址	山东省青岛市即墨滨海路72号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	山东大学	当前权利人	山东大学
发明人	孙文旭;马思乐;修向前;王超;贾磊;李岐强;张兴拓;栾义忠;陈纪旸;马晓静;余平
代理机构	济南圣达知识产权代理有限公司	代理人	李琳

摘要

本公开公开了一种基于模糊控制的HVPE温度控制系统及方法，包括：加热子系统包括至少两组温区，温区内设置加热模块和温度传感器，温度传感器将采集的温区的温度信号经A/D转换后传输到PLC子系统；PLC子系统通过比较温区在加热期间的实际温度值与预设温度值，结合基于模糊自适应控制算法计算温度控制量，输出温度控制信号通过D/A转换发送到控制子系统；控制子系统的自动控温电路与加热模块连接，调节加热模块的加热功率，结合加热模块的种类和加热方式，控制温区的温度在预设温度范围内。提出基于PLC、温控电路以及模糊自适应整定PID控制的HVPE设备加热炉温度控制系统，采用模糊控制与PID控制相结合的模糊自适应整定PID控制方法，提高控制精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供