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一种沉积系统及其气体传输方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201711123465.6
  • IPC分类号:C23C16/455
  • 申请日期:
    2017-11-14
  • 申请人:
    北京北方华创微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称一种沉积系统及其气体传输方法
申请号CN201711123465.6申请日期2017-11-14
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-05-21公开/公告号CN109778143A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人北京北方华创微电子装备有限公司申请人地址
北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方华创微电子装备有限公司当前权利人北京北方华创微电子装备有限公司
发明人纪红;史小平;李春雷;赵雷超;秦海丰;张文强
代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人陶金龙;张磊
摘要
本发明公开了一种沉积系统,包括第一腔室、第二腔室及其共用的一气体供给装置,气体供给装置包括前躯体A源、前躯体B源和吹扫气体C源,前躯体A源通过第一腔室前躯体A输出管路和第二腔室前躯体A输出管路分别连接第一腔室和第二腔室,前躯体B源通过第一腔室前躯体B输出管路和第二腔室前躯体B输出管路分别连接第一腔室和第二腔室,吹扫气体C源通过第一腔室前躯体A吹扫管路、第一腔室前躯体B吹扫管路分别连接第一腔室,并通过第二腔室前躯体A吹扫管路、第二腔室前躯体B吹扫管路分别连接第二腔室;本发明可提高前躯体的利用率,并可缩减设备的占地空间。本发明还公开了一种沉积系统的气体传输方法。

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