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静电吸附卡盘的循环液系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811287024.4
  • IPC分类号:H01L21/683
  • 申请日期:
    2018-10-31
  • 申请人:
    北京北方华创微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称静电吸附卡盘的循环液系统
申请号CN201811287024.4申请日期2018-10-31
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-12-06公开/公告号CN110544663A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人北京北方华创微电子装备有限公司申请人地址
北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方华创微电子装备有限公司当前权利人北京北方华创微电子装备有限公司
发明人马恩泽;楼丰瑞;石锗元
代理机构北京思创毕升专利事务所代理人孙向民;廉莉莉
摘要
本发明公开了一种静电吸附卡盘的循环液系统,该静电吸附卡盘的基体中包含冷却液循环水路。该循环液系统包括与所述冷却液循环水路连接的冷却机,所述冷却机配置为能够同时泵出不同温度的第一循环液和第二循环液,其中一种循环液经过所述冷却液循环水路循环时,另一种循环液在所述静电吸附卡盘外部循环。通过引入独立工作的两种温度循环液的双通道冷却机,使进入静电吸附卡盘基体进行温度稳定的循环液可以在两种温度的循环液之间切换,缩短了高低温工艺间循环液升降温的时间,实现了在不同温度工艺时对静电吸附卡盘的快速控温,并且能够避免由于静电吸附卡盘的加热功率过大导致静电吸附卡盘损坏。

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