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一种宽带的中红外调制器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510648986.8
  • IPC分类号:G02F1/01
  • 申请日期:
    2015-10-09
  • 申请人:
    电子科技大学
著录项信息
专利名称一种宽带的中红外调制器
申请号CN201510648986.8申请日期2015-10-09
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-12-09公开/公告号CN105137619A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02F1/01IPC分类号G;0;2;F;1;/;0;1查看分类表>
申请人电子科技大学申请人地址
四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人电子科技大学当前权利人电子科技大学
发明人刘志军;彭昊;蒋亚东
代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司代理人裴娜
摘要
本发明涉一种宽带的中红外调制器,所述中红外调制器为多层结构,中红外调制器以二氧化钒为温控相变材料;所述中红外调制器的多层结构的最下层为金,最上层为二氧化硅,二氧化钒层位于中红外调制器的中部,二氧化钒层的上侧设有钛金属层。其中,优选的结构为,中红外调制器的多层结构从下至上依次为金、二氧化硅、二氧化钒、钛金属、二氧化硅。本发明的宽带的中红外调制器,该中红外调制器的带宽达到中心波长的94%;该中红外调制器的结构为层状结构,制作简单、成本低,层状薄膜结构无需图案化印刷技术,因此可简化制作工艺、降低成本。

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