加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

光刻投影物镜容错控制装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510602510.0
  • IPC分类号:G03F7/20;G02B7/02
  • 申请日期:
    2015-09-21
  • 申请人:
    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
著录项信息
专利名称光刻投影物镜容错控制装置
申请号CN201510602510.0申请日期2015-09-21
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2015-12-16公开/公告号CN105159034A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;2;B;7;/;0;2查看分类表>
申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请人地址
北京市大兴区北京经济技术开发区景园北街2号52幢6层601-10室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京国望光学科技有限公司当前权利人北京国望光学科技有限公司
发明人郭嘉亮;李佩玥;葛川;郑楠;隋永新;杨怀江
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种光刻投影物镜容错控制装置,包括设于光刻投影物镜内的压电驱动器和电容传感器,光刻投影物镜容错控制装置还包括:信号采集板、高压驱动板、主控单板计算机和辅控单板计算机,主控单板计算机和辅控单板计算机形成冗余控制;主控单板计算机和辅控单板计算机均经信号采集板连接电容传感器,以接收电容传感器检测的位置信号;主控单板计算机和辅控单板计算机均经高压驱动板连接压电驱动器,用于根据接收的位置信号生成指令以控制压电驱动器。本发明既满足了对光刻投影物镜内部调节机构的闭环精确控制,以补偿热像差,保障光刻精度,又通过冗余控制保障了控制装置的稳定可靠工作。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供