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基于主动平衡质量的动磁钢磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610023033.7
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2016-01-14
  • 申请人:
    哈尔滨工业大学
著录项信息
专利名称基于主动平衡质量的动磁钢磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置
申请号CN201610023033.7申请日期2016-01-14
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-04-13公开/公告号CN105487348A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人哈尔滨工业大学申请人地址
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人哈尔滨工业大学当前权利人哈尔滨工业大学
发明人刘永猛;谭久彬
代理机构暂无代理人暂无
摘要
基于主动平衡质量动磁钢磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术,该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置,两个工件台工作于测量位和曝光位之间,采用平面光栅对工件台位置进行测量,采用双电机曲柄摇杆机构组成的主动补偿结构对平衡质量块进行运动补偿,工件台采用磁悬浮平面电机驱动,双工件台交换过程中,采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台;本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题,减少换台环节,缩短了换台时间,提高了光刻机的产率。

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