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制备化学机械抛光层的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201210290726.4
IPC分类号：B24D18/00
申请日期：
2012-08-15
申请人：
罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	制备化学机械抛光层的方法
申请号	CN201210290726.4	申请日期	2012-08-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-03-06	公开/公告号	CN102950550A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24D18/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24D 磨削、抛光或刃磨用的工具（专门适用于滚光装置的磨料体，如磨球入B24B31/14；珩磨工具入B24B33/08；研具入B24B 37/11；） B24D18/00 其他类目不包括的磨具制造，如磨轮〔4〕	IPC分类号	B;2;4;D;1;8;/;0;0查看分类表>
申请人	罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司	申请人地址	美国特拉华州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司	当前权利人	罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
发明人	K·麦克休;J·T·默南;G·H·麦克莱恩;D·A·赫特;R·A·布雷迪;C·A·扬;J·B·米勒
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	项丹

摘要

本发明涉及制备化学机械抛光层的方法，提供了用于化学机械抛光垫的抛光层的制备方法，其中最小化了抛光层中密度缺陷的形成。

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