由吡喃-3,5-二酮合成的可降解型光刻胶树脂单体及其合成方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010557266.1
IPC分类号：C07D309/10;G03F7/027;G03F7/004
申请日期：
2020-06-18
申请人：
徐州博康信息化学品有限公司

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专利名称	由吡喃-3,5-二酮合成的可降解型光刻胶树脂单体及其合成方法
申请号	CN202010557266.1	申请日期	2020-06-18
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-10-16	公开/公告号	CN111777583A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C07D309/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C07 有机化学〔2〕 C07D 杂环化合物（高分子化合物入C08）〔2〕 C07D309/00 杂环化合物，含六元环，有1个氧原子作为仅有的杂环原子，不和其他环稠合〔2〕 C07D309/02 环原子间或环原子与非环原子间无双键〔2〕 C07D309/08 有杂原子，或有3个键连杂原子，其中最多有1个键连卤原子的碳原子，例如酯基或腈基，直接连在环碳原子上〔2〕 C07D309/10 氧原子〔2〕	IPC分类号	C;0;7;D;3;0;9;/;1;0;;;G;0;3;F;7;/;0;2;7;;;G;0;3;F;7;/;0;0;4查看分类表>
申请人	徐州博康信息化学品有限公司	申请人地址	江苏省徐州市邳州市经济开发区化工聚集区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	徐州博康信息化学品有限公司	当前权利人	徐州博康信息化学品有限公司
发明人	傅志伟;贺宝元;邵严亮;毛国平;余文清;薛富奎;刘司飞
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了由吡喃‑3,5‑二酮合成的可降解型光刻胶树脂单体及其合成方法，涉及光刻胶树脂单体领域，其结构式如下所示：其中R1为氢或者甲基，R2为饱和烷烃或者环烷烃。其合成方法为：2H‑吡喃‑3,5(4H,6H)‑二酮(Ⅰ)与烷基格氏试剂或者环烷基格氏试剂发生格氏反应得到中间体(Ⅱ)；中间体(Ⅱ)与丙烯酰氯或者甲基丙烯酰氯发生酯化反应得到树脂单体(Ⅲ)。本发明提供的树脂单体具有更好的耐刻蚀性能，曝光前后，溶解速度差增大，有利于改善显影后图形的边缘粗糙度，大大提高了光刻图案的分辨率，并且，增加了含其的聚合树脂在酯类溶剂中的溶解性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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