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真空镀膜传动机构的固定装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201320051522.5
  • IPC分类号:C23C14/22;C23C16/44
  • 申请日期:
    2013-01-30
  • 申请人:
    安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司
著录项信息
专利名称真空镀膜传动机构的固定装置
申请号CN201320051522.5申请日期2013-01-30
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/22IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;2;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司申请人地址
安徽省蚌埠市高新技术产业开发区长明路377号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司当前权利人安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司
发明人王成雷;钟汝梅;张红
代理机构蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司代理人王琪
摘要
本实用新型涉及真空镀膜领域,具体是一种真空镀膜传动机构的固定装置,包括底座和法兰盘,底座安装在镀膜真空室的腔壁上,底座中心轴线上有可供传动机构的传动轴穿过的第一通孔,第一通孔的直径大于传动轴的直径;法兰盘通过固定螺杆固定在所述底座上,固定螺杆的直径与传动机构的驱动轴的直径比为2:3~1:1,法兰盘上有可供传动机构的驱动轴穿过的第二通孔,第二通孔的直径大于所述驱动轴的直径。本实用新型的固定装置能够起到很好的固定传动机构的作用,减小底座的晃动,并能保证密封件位置不变,起到密封效果。

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