应用光谱仪来量测电浆气体解离状态的量测方法及装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201710305494.8
IPC分类号：G01N21/25
申请日期：
2017-05-03
申请人：
富兰登科技股份有限公司

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专利名称	应用光谱仪来量测电浆气体解离状态的量测方法及装置
申请号	CN201710305494.8	申请日期	2017-05-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-10-24	公开/公告号	CN107290287A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/25 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/17 入射光根据所测试的材料性质而改变的系统（其中所测试的材料因受到光学激发而引起入射光波长改变的入G01N 21/63）〔3〕 G01N21/25 颜色；光谱性质，即比较材料对两个或多个不同波长或波段的光的影响〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;2;5查看分类表>
申请人	富兰登科技股份有限公司	申请人地址	中国台湾新竹市香山区牛埔路238号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	富兰登科技股份有限公司	当前权利人	富兰登科技股份有限公司
发明人	潘瑞宝
代理机构	北京金智普华知识产权代理有限公司	代理人	巴晓艳

摘要

本发明提供一种利用光谱仪量测气体解离状态的量测方法及其装置。其原理主要藉由侦测管体内之气体解离状态，并藉由本装置计算出解离相对量值，俾于气体的主路径污染值过高时，由一第二路径适量释出被解离之反应气体，以排除该主路径之污染物其设置范围可应用于所有需量测气体解离状态之设备及/或装置，包括但不限于半导体、光电或面板等产业中的物理气相沉积设备、化学气相沉积设备或蚀刻设备等相关设备，也可直接设置于RemotePlasmaSource(远端电浆源)设备内。另外，本发明也可应用在生技业、化学业及应用物理之相关行业的检验测试设备，更可进一步应用在以上相关行业之设备维修业的检验设备或测试平台。

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