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含有氢氧化四烃基铵的显像废液的中和方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200780040100.5
IPC分类号：C02F1/66;B01D19/02;G03F7/32;H01L21/027
申请日期：
2007-11-06
申请人：
株式会社德山

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	含有氢氧化四烃基铵的显像废液的中和方法
申请号	CN200780040100.5	申请日期	2007-11-06
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2009-10-14	公开/公告号	CN101558013
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C02F1/66 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C02 水、废水、污水或污泥的处理 C02F 水、废水、污水或污泥的处理（通过在物质中产生化学变化使有害的化学物质无害或降低危害的方法入A62D 3/00；分离、沉淀箱或过滤设备入B01D；有关处理水、废水或污水生产装置的水运容器的特殊设备，例如用于制备淡水入B63J；为防止水的腐蚀用的添加物质入C23F；放射性废液的处理入G21F 9/04）〔3〕 C02F1/00 水、废水或污水的处理（C02F 3/00至C02F 9/00优先）〔3〕 C02F1/66 中和法；pH的调节（脱气入C02F 1/20；用离子交换入C02F 1/42；悬浮杂质的絮凝或沉淀入C02F 1/52；溶解化合物的除去入C02F 1/58）〔3〕	IPC分类号	C;0;2;F;1;/;6;6;;;B;0;1;D;1;9;/;0;2;;;G;0;3;F;7;/;3;2;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7查看分类表>
申请人	株式会社德山	申请人地址	日本山口县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社德山	当前权利人	株式会社德山
发明人	山下喜文;中本达也;山内正晴
代理机构	上海天翔知识产权代理有限公司	代理人	刘粉宝

摘要

本发明的目的在于，提供使溶解来自光刻胶的有机物的含有氢氧化四烃基铵的显像废液与二氧化碳或含有二氧化碳的气体在中和塔中逆流接触，对该显像废液进行中和时，不会使中和塔内发生的气泡积存在中和塔中，而可以有效地将其去除的上述显像废液的中和方法。实现这样的目的的本发明的中和方法，在对该显像废液进行中和时，将中和塔塔顶的气相部发生的气泡取出到塔外，使其与加热体接触加以消除。

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