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一种四自由度激光指向控制系统及其控制方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011540777.9
  • IPC分类号:G01B11/26;G02B26/08;G02B27/10;G05D3/12
  • 申请日期:
    2020-12-23
  • 申请人:
    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
著录项信息
专利名称一种四自由度激光指向控制系统及其控制方法
申请号CN202011540777.9申请日期2020-12-23
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-05-07公开/公告号CN112762863A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B11/26IPC分类号G;0;1;B;1;1;/;2;6;;;G;0;2;B;2;6;/;0;8;;;G;0;2;B;2;7;/;1;0;;;G;0;5;D;3;/;1;2查看分类表>
申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请人地址
吉林省长春市长春经济技术开发区东南湖大路3888号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所当前权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人于德洋;潘其坤;李鑫鹏;郭劲;陈飞;孙俊杰;张阔;张鲁薇
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人巴翠昆
摘要
本申请公开了一种四自由度激光指向控制系统及其控制方法,包括:CO2激光器,用于发出激光光束;指向调节模块,包括第一压电陶瓷偏摆镜和第二压电陶瓷偏摆镜,用于调节激光光束的指向;分光模块,用于将激光光束分成第一光束和第二光束;第一光束轰击锡靶;第二光束传输至指向位置监测模块;指向位置监测模块,包括第一相机和第二相机,用于分别对激光指向的近场光斑位置和远场光斑位置进行测量;工控机,用于根据第一相机、第二相机中的光斑位置与预定位置的偏差,解算施加给指向调节模块的驱动信号,以实时调整第一压电陶瓷偏摆镜和第二压电陶瓷偏摆镜的水平与俯仰角度。这样可以实现对激光指向的准直稳定控制,显著降低光束的抖动情况。

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