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用于校准温度传感器的装置和方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201980016111.2
  • IPC分类号:G01K15/00
  • 申请日期:
    2019-02-26
  • 申请人:
    AMS国际有限公司
著录项信息
专利名称用于校准温度传感器的装置和方法
申请号CN201980016111.2申请日期2019-02-26
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2020-12-18公开/公告号CN112105899A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01K15/00IPC分类号G;0;1;K;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人AMS国际有限公司申请人地址
荷兰埃因霍温 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人希奥检测有限公司当前权利人希奥检测有限公司
发明人希尔科·瑟伊;法兰斯·德扬;阿加塔·萨基察;内博伊沙·内纳多维茨;海尔特·卡拉茨;汉斯·登卡特;雷妮·德科克;安德烈斯·瓦尔特
代理机构北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙)代理人暂无
摘要
一种校准装置(1),其具有可密封且热隔离的腔室(10),该腔室包括插口底座(15),其具有与插口底座(15)热接触的多个参考样本(18)和用于被测器件DUT(17)的多个样本插口(16),其中,每个样本插口(16)被布置为邻近并且关联于至少一个参考样本(18)。装置(1)还包括热卡盘(13)和电路板(14),该电路板被配置成提供到插口底座(15)中的参考样本(18)和样本插口(16)中的DUT(17)的电连接。热卡盘(13)被配置成将插口底座(15)和电路板(14)热化至温度设定点。

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