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一种设有前后门且自动推料的镀膜箱设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201611003914.9
  • IPC分类号:C23C14/56
  • 申请日期:
    2016-11-15
  • 申请人:
    东莞市秦智工业设计有限公司
著录项信息
专利名称一种设有前后门且自动推料的镀膜箱设备
申请号CN201611003914.9申请日期2016-11-15
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2017-02-15公开/公告号CN106399965A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/56IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人东莞市秦智工业设计有限公司申请人地址
江苏省徐州市徐州高新技术产业开发区大学路99号大学创业园C506A-19房间 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人徐州天骋智能科技有限公司当前权利人徐州天骋智能科技有限公司
发明人高扬
代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司代理人连平
摘要
本发明公开了一种设有前后门且自动推料的镀膜箱设备,包括镀膜箱、一对自动门机构、自动门驱动机构和推料机构,所述镀膜箱的前后两侧开口,镀膜箱的前后开口侧各安装有一个自动门机构,自动门驱动机构安装在镀膜箱的顶部,自动门驱动机构与自动门机构之间通过齿轮齿条连接,推料机构安装在镀膜箱的左侧。它更加方便地将基板放入真空镀膜箱,且方便地将真空镀膜箱开口侧封闭。

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