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一种可实现自动翻转的基片架

实用新型有效专利
  • 申请号:
    CN201721620935.5
  • IPC分类号:C23C14/50
  • 申请日期:
    2017-11-29
  • 申请人:
    北京中科优唯科技有限公司
著录项信息
专利名称一种可实现自动翻转的基片架
申请号CN201721620935.5申请日期2017-11-29
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/50IPC分类号C23C14/50查看分类表>
申请人北京中科优唯科技有限公司申请人地址
山西省长治市长治高新区漳泽新型工*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人山西中科潞安紫外光电科技有限公司当前权利人山西中科潞安紫外光电科技有限公司
发明人李辉;段瑞飞;王军喜;曾一平;付强
代理机构北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙)代理人胡剑辉
摘要
本专利公开了一种可实现自动翻转的基片架,用于在基片上形成溅射层环境下,包括:翻转机构、旋转机构和棘轮机构;所述棘轮机构与夹持所述夹爪相连接,用于传递翻转的动力,从而驱动所述夹爪带动基片翻转。所述旋转机构与设置多个夹爪的圆盘啮合,从而驱动所述转盘旋转带动所述转盘上的夹爪转动。所述翻转机构与所述转盘上的棘轮机构配合,并带动所述棘轮机构翻转所述夹爪。通过设置棘轮和棘爪的配合,同时利用了杠杆的升降和转盘转动的力同时驱动基片卡具的翻转,在保证了翻转稳定可靠的工作的情况下,节约了有限的利用空间。

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