一种离子注入机中剂量控制系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201710957037.7
IPC分类号：H01J37/304;H01J37/317
申请日期：
2017-10-16
申请人：
北京中科信电子装备有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种离子注入机中剂量控制系统
申请号	CN201710957037.7	申请日期	2017-10-16
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-04-23	公开/公告号	CN109671606A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/304 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/30 物体局部处理用的电子束管或离子束管 H01J37/304 由来自物体的信息控制电子管的，如校正信号〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;0;4;;;H;0;1;J;3;7;/;3;1;7查看分类表>
申请人	北京中科信电子装备有限公司	申请人地址	北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京中科信电子装备有限公司	当前权利人	北京中科信电子装备有限公司
发明人	田龙;孙腾;李冠嫁
代理机构	长沙正奇专利事务所有限责任公司	代理人	马强

摘要

本发明涉及一种离子注入机中剂量控制系统，属于半导体制造领域。一种离子注入机中剂量控制系统，包括上位机(1)、光缆(2)、嵌入式系统(3)、法拉第筒(4)、同轴电缆(5)、剂量控制器(10)及其内部的档位选择与AD转换模块(6)、束流检测设备(7)、波形发生器(8)、X/Y向扫描电源(9)。说明书对一种离子注入机中剂量控制系统做出了详细说明，并给出了具体实施例。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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